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SEM (장비 소개 애니메이션)





  • 주요내용 - 외부구조 (컬럼, 모니터, EDS, 시편실, 진공계)
    - 내부구조 (전자총, 주사코일, E-T검출기, 접속렌즈, 대물렌즈, 대물조리개, 시편)
    - SEM 영상형성원리 (전자빔주사-신호수집-신호분석-Mapping, 배율조정과 전자빔 주사)




  • 주요내용 - interaction volume, SE, BSE, X-ray의 생성
    - 생성 신호의 특성




  • 주요내용 - 접속렌즈의 역할, 대물렌즈의 역할, 작업 거리의 효과




  • 주요내용 - Everhart-Thornley Detector Bias의 영향
    - E-T 검출기의 동작원리




  • 주요내용 - 열전자 방출방식
    - 전계방출방식